快速响应、精确测量气体流量

*小流量：0.1SCCM     **流量：5000SLPM

S100-QR快速响应气体层流质量流量计在S100基础上提高快速响应时间，从100ms缩短至20ms,大幅提高流量测量效率，节省工艺成本，精度保持在±1%读数，适用气体快速波动下的流量精确测量。